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과제번호 S1042653
과제명 Package 기판 용 대기압 플라즈마 전처리 설비 개발
사업명 구매조건부신제품개발사업
공고명 2008년도 상반기 상용화기술개발사업 시행계획 공고(구매조건부-일반분야)
세부공고명 민간구매과제
주관기관명 (주)피에스엠
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 238,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비
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