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창닫기과제번호 | S1036781 |
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과제명 | 450mm Dry Etching 장비용 Electro-Static Chucking 기술개발 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
공고명 | 2008년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(전략과제) |
세부공고명 | 기술수요조사과제-기술로드맵(200개) |
주관기관명 | 메트로테크 |
관리기관명 | 경남지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
정부출연금 | 330,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |