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과제번호 C0249166
과제명 Graphene, BN 및 MoS2의 나노박막 합성용 집적형 Thermal CVD 장비의 시제품 개발
사업명 첫걸음 R&D
공고명 2014년도 산학연협력 기술개발사업(일반형) 첫걸음-타지역
세부공고명 2014년 산학연협력 기술개발사업(일반형) 4차 첫걸음-타지역
주관기관명 호서대학교산학협력단
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 67,895,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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