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과제번호 C0034148
과제명 AMOLED용 HDP Etcher ICP Plasma Source 및 ESC(Electro Static Force) 전극 개발
사업명 산학연 공동기술개발 지역사업
공고명 2012년도 산학연 공동기술개발사업
세부공고명 2012년 산학연공동기술개발 지역사업 일반과제
주관기관명 공주대학교산학협력단
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 32,830,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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