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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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32 | 중소기업기술혁신개발사업 | SoC(SYSTEM ON CHIP)설계를 위한 실험, 실습 및 설계 장비 | 기타 반도체장비 |
31 | 중소기업기술혁신개발사업 | RF MODLILE용 메카니칼 트리밍 및 검사장비 | 측정/검사 장비 |
30 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체용 고진공 SCREW형 진공펌프 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
29 | 중소기업기술혁신개발사업 | 광부품및 반도체 제조용 초정밀 XY 스테이지 기술 개발 | 기타 반도체장비 |
28 | 중소기업기술혁신개발사업 | High Vacuum Ion Gauge Controller(고진공 이온게이지 컨트롤러 개발) | 기타 반도체장비 |
27 | 중소기업기술혁신개발사업 | 플라즈마의 광학적 및 물리적 동시 진단기술 | 노광 트랙장비 |
26 | 중소기업기술혁신개발사업 | I/V 분석기 및 광분석장치를 부가한 프로브스테이션 일체형 LED칩 검사장치 | 측정/검사 장비 |
25 | 중소기업기술혁신개발사업 | 광신호 증폭기용 P/L Alignment & Fixing M/C | 기타 반도체장비 |
24 | 중소기업기술혁신개발사업 | X-Ray와 Wision Camera를 이용한 콤보형 SMT 검사장비 개발 | 측정/검사 장비 |
23 | 중소기업기술혁신개발사업 | CCD Camera와 Servo motor를 이용한 웨이퍼 아이디(Water ID)문자처리 인식 및 웨이퍼 정렬(Wefer Aligner)기능을 겸비한 웨이퍼 핸들러 개발 | 기타 반도체장비 |
22 | 중소기업기술혁신개발사업 | 탄성파를 이용한 칩 공진기용 패키지 및 패키징 기술 개발 | 패키징장비 |
21 | 중소기업기술혁신개발사업 | COB package용 전도 회로선 개발 | 기타 반도체장비 |
20 | 중소기업기술혁신개발사업 | TFT LCD용 대면적 Al타겟 본딩기술 및 폐솔더(인듐) 정제기술 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
19 | 중소기업기술혁신개발사업 | 레이저를 이용한 세라믹 컷팅 장비 개발 | 기타 반도체장비 |
18 | 중소기업기술혁신개발사업 | 고다층인쇄회로기판의 High Tg Resin처리용 Desmear공정약품 개발 | 기타 반도체장비 |