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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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62 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 소자 제작를 위한 Mask Aligner 국산화 | 노광 트랙장비 |
61 | 중소기업기술혁신개발사업 | 사이클수준 SystemC 가속기 기술 개발 | 기타 반도체장비 |
60 | 중소기업기술혁신개발사업 | 후막표면처리 장치(DERO MACHINE) 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
59 | 중소기업기술혁신개발사업 | Megasonic Wave를 이용한 MEMS용 Miciromachinig System 및 공정개발 | 에칭 장비 |
58 | 중소기업기술혁신개발사업 | FPD Driver IC 및 모듈 테스터의 개발 | 측정/검사 장비 |
57 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 제조장비의 ROTARY HEAD | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
56 | 중소기업기술혁신개발사업 | 초정밀 반도체 금형 제작을 위한 미세홀(HOLE)가공 기술개발 | 기타 반도체장비 |
55 | 중소기업기술혁신개발사업 | 200mm WAFER SHIPPING BOX 개발 | 기타 반도체장비 |
54 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 웨이퍼 범푸 결함 검사를 위한 이체 형상 디지타이징 모듈 개발 및 이를 이용한 응용 장비 개발 | 측정/검사 장비 |
53 | 중소기업기술혁신개발사업 | uBGA 144용 BURN-IN test Socket개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
52 | 중소기업기술혁신개발사업 | 열전모듈을 이용한 항온장치 개발 | 노광 트랙장비 |
51 | 중소기업기술혁신개발사업 | 12"" Wafer용 전자동화 Tape mount M/C 개발 | 기타 반도체장비 |
50 | 중소기업기술혁신개발사업 | 마이크로 다기능칩제작을 위한 기판 접합 장비의 개발 | 기타 반도체장비 |
49 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 슬러리 초정밀 제어장치 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
48 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 제조공정의 진공배관 세정장치 개발 | 세정장비 |