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과제번호 SA112605
과제명 고효율 실리콘 박막 태양전지 양산을 위한 μc-Si 박막 성장용 대면적 PECVD VHF 플라즈마 소스 기술 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2011년도 중소기업 기술혁신개발사업 미래선도과제 시행계획 공고
세부공고명 녹색기술분야
주관기관명 (주)제이하라
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 400,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 에너지ㆍ자원 >> 신재생에너지 >> 태양광
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