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| 과제번호 | S3311087 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 식각장비용 실리콘 캐소드 품질 및 공구 마모 모니터링을 위한 AI 기반 비전시스템 개발 |
| 사업명 | 산학연플랫폼협력기술개발 |
| 공고명 | 2022년도 산학연 플랫폼 협력(R&D) 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2022년 산학연 플랫폼 협력기술개발사업 시행계획 공고(산연플랫폼/기획R&D+협력R&D) |
| 주관기관명 | 한국전자기술연구원 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 189,498,000 |
| 과제상태 | 과제진행중 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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