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| 과제번호 | S3301139 |
|---|---|
| 과제명 | 실시간 모니터링이 가능한 초미세(10nm급 이하) 반도체 공정용 1,000L/h 이상급 고순도 초순수 제조시스템 개발 |
| 사업명 | 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
| 공고명 | 2022년도 중소기업 구매조건부신제품개발사업 '구매연계형 과제' 자유공모(2차) 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2022년도 중소기업 구매조건부신제품개발사업 '구매연계형 과제' 자유공모(2차) 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | (주)미래에스티 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 350,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
Copyright ⓒ 중소기업기술정보진흥원. All Rights Reserved.
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