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창닫기과제번호 | S3255161 |
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과제명 | AIoT 제어모듈을 포함한 복합체(CNT + CF) 기반의 반도체 공정배관向 스마트 발열시스템 개발 (≥200℃ 온도제어 및 균일성, 시공 용이성을 포함한 생산성 확보) |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고 |
주관기관명 | 주식회사핫앤쿨 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 487,155,000 |
과제상태 | 과제진행중 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비 |