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| 과제번호 | S3246068 |
|---|---|
| 과제명 | 차세대 반도체에 적용 가능한 nitride-Si stop 및 poly-Si stop CMP용 wet방식 Ceria slurry 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
| 공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '시장확대형(BIG3과제)' 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '시장확대형(BIG3과제)' 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | (주)엠에스머트리얼즈 |
| 관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 570,000,000 |
| 과제상태 | 과제진행중 |
| 산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 금속재료 >> 기능재료 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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