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창닫기과제번호 | S3224330 |
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과제명 | 반도체 식각공정 부품(SiC) 생산공정에서 발생하는 연마성 슬러지 분리장비 및 지능형 진단 시스템 개발 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장일반(재도약과제)’ 상반기 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장일반(재도약과제)’ 상반기 시행계획 공고 |
주관기관명 | 신흥정공(주) |
관리기관명 | 울산지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 430,000,000 |
과제상태 | 과제진행중 |
산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 에너지/환경 기계시스템 >> 유체기계 |