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과제번호 S3219873
과제명 고온, 고농도 오존수 (80℃, 80ppm)를 이용한 세정장비 개발(HDI PR 제거)
사업명 네트워크형기술개발사업(네트워크 기획)
공고명 2022년도 중소기업 네트워크형기술개발사업 네트워크 기획-R&BD연계지원 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 중소기업 네트워크형기술개발사업 네트워크 기획-R&BD연계지원 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 디에어
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 30,000,000
과제상태 개발종료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비
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