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과제번호 S3215296
과제명 딥러닝 기반 제어를 통한 나노미터급 반도체 C.C.S.S전용 정밀 온도제어 시스템 개발
사업명 창업성장기술개발사업(전략형)
공고명 2022년도 창업성장기술개발사업 전략형(소재부품장비) 제1차 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 창업성장기술개발사업 전략형(소재부품장비) 제1차 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 제이슨랩
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 280,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비
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