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과제번호 S3215258
과제명 반도체 후공정 패키지 기판(PLP) 노광 공정용 L/S 5um 마스크리스 노광 엔진 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형)
공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 `시장대응형(일반과제)` 상반기 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 `시장대응형(일반과제)` 상반기 시행계획 공고
주관기관명 (주)에스디에이
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 480,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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