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과제번호 S3207602
과제명 헤테로지니어스 반도체 고단차 패키징의 고속 대면적 3D 검사기술 개발
사업명 소재부품장비전략협력기술개발
공고명 2021년 소재부품장비 전략협력 기술개발사업 참여기업 모집공고(2단계 전략협력R&D)
세부공고명 2단계 전략협력R&D
주관기관명 한국과학기술원
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 970,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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