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과제번호 S3146575
과제명 불화수소 내 극미량 휘발성 금속불순물 정제 기술 및 실시간 분석 기술을 이용한 초고순도 불산의 순수 국산 양산화 기술 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100)
공고명 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 강소기업100 과제 2차 시행계획 공고
세부공고명 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 강소기업100 과제 2차 시행계획 공고
주관기관명 램테크놀러지(주)
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 1,210,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> 반도체 재료
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