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과제번호 S3137819
과제명 반도체 플라즈마 증착 및 식각 공정 장비의 스마트제조/설계를 위한 고성능 입자기반 시뮬레이션 SW 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형)
공고명 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 시장대응형(일반) 과제 제2차 시행계획 공고
세부공고명 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 시장대응형(일반) 과제 제2차 시행계획 공고
주관기관명 (주)케이더블유티솔루션
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 480,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 지식서비스 >> 연구개발/엔지니어링서비스 >> 생산공정모델링/시뮬레이션
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