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과제번호 S3111600
과제명 극저온 냉각 시스템을 적용한 고성능 스퍼터링 이온 소스 개발
사업명 산학협력(예비연구)
공고명 2021년도 산학 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고
세부공고명 2021년도 산학 Collabo R&D사업(예비연구) 시행계획 공고
주관기관명 피브이티
관리기관명 서울지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 39,580,000
과제상태 완료
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 산업/일반기계 >> 일반가공기계
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