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과제번호 S3105324
과제명 CVD 공정용 건식 진공 펌프의 부식성 및 부산물 증착이 개선된 국산화 모듈 개발
사업명 산학협력(사업화 R&D)
공고명 2021년도 산학 Collabo R&D사업(사업화R&D) 시행계획 공고
세부공고명 2021년도 산학 Collabo R&D사업(사업화R&D) 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 케이브이티
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 260,160,000
과제상태 완료
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 정밀생산기계 >> 기타 정밀생산기계 관련기술 
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