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과제번호 S3000387
과제명 면상발열체를 이용한 반도체 가스배관용 200℃ 히터자켓 공정기술 개발
사업명 현장형R&D
공고명 2020년 공정품질기술개발사업(현장형R&D) 공고
세부공고명 2020년 공정품질기술개발사업(현장형R&D) 2차 공고
주관기관명 글로셈
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 49,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> 기타 반도체 소자
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