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과제번호 S2999187
과제명 비메모리 반도체 소자용 초내식성 CMP 컨디셔너 제조공정 기술개발
사업명 혁신형R&D
공고명 2020년 공정품질기술개발사업(혁신형R&D) 공고
세부공고명 2020년 공정품질기술개발사업(혁신형R&D) 2차 공고
주관기관명 새솔다이아몬드공업
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 197,800,000
과제상태 완료
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 요소부품 >> 절삭/연삭공구
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