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창닫기과제번호 | S2985518 |
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과제명 | EUV photoresist용 Rinse |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
공고명 | 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장확대형 과제’ 제2차 시행계획 공고(수정) |
세부공고명 | 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장확대형 과제’ 제2차 시행계획 수정공고 |
주관기관명 | 와이씨켐(주) |
관리기관명 | 대구경북지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 560,000,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> 반도체 재료 |