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창닫기과제번호 | S2975661 |
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과제명 | 그루브 구조 및 저저항 유전층을 이용한 디스플레이 장비용 Easy-dechucking 정전척의 개발 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
공고명 | 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장대응형 과제’ 제2차 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장대응형 과제’ 제2차 시행계획 공고 |
주관기관명 | 주식회사 이에스티 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 474,000,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 디스플레이 >> 디스플레이 제조장비 |