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과제번호 S2975661
과제명 그루브 구조 및 저저항 유전층을 이용한 디스플레이 장비용 Easy-dechucking 정전척의 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형)
공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장대응형 과제’ 제2차 시행계획 공고
세부공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장대응형 과제’ 제2차 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 이에스티
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 474,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 디스플레이 >> 디스플레이 제조장비
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