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과제번호 S2851852
과제명 저저항 다이아몬드 박막 형성을 위한 마이크로웨이브 플라즈마 CVD 장비 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형)
공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장대응형 과제’ 제1차 시행계획 공고(수정)
세부공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 '시장대응형 과제' 제1차 시행계획 수정공고
주관기관명 (주)엠에이케이
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 479,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 기계ㆍ소재 >> 표면처리 >> 박막제조기술
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