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창닫기과제번호 | S2837368 |
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과제명 | 반도체 Wafer 미끄럼방지용 고성능 특수 Pad 부품 국산화 제조 R&D |
사업명 | 중소기업R&D기획지원사업 |
공고명 | 2020년도 중소기업 R&D기획지원사업 시행계획 공고(1차) |
세부공고명 | 2020년 R&D기획지원사업(1차)_첫걸음기획 |
주관기관명 | 주식회사 글린트머티리얼즈 |
관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 25,500,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |