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과제번호 S2837368
과제명 반도체 Wafer 미끄럼방지용 고성능 특수 Pad 부품 국산화 제조 R&D
사업명 중소기업R&D기획지원사업
공고명 2020년도 중소기업 R&D기획지원사업 시행계획 공고(1차)
세부공고명 2020년 R&D기획지원사업(1차)_첫걸음기획
주관기관명 주식회사 글린트머티리얼즈
관리기관명 중소기업기술정보진흥원
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 25,500,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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