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창닫기과제번호 | S2834175 |
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과제명 | In-Fab AFM 검사 장비 구축을 위한 양산기술 확보 |
사업명 | 구매조건부신제품개발사업(민관공동투자) |
공고명 | 2019년 구매조건부신제품개발사업 민관공동투자 Fast-Track과제 모집공고(10월모집) |
세부공고명 | 2019년 구매조건부신제품개발사업 민관공동투자 Fast-Track과제 모집공고(10월모집) |
주관기관명 | (주)파크시스템스 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 454,000,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |