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과제번호 S2834175
과제명 In-Fab AFM 검사 장비 구축을 위한 양산기술 확보
사업명 구매조건부신제품개발사업(민관공동투자)
공고명 2019년 구매조건부신제품개발사업 민관공동투자 Fast-Track과제 모집공고(10월모집)
세부공고명 2019년 구매조건부신제품개발사업 민관공동투자 Fast-Track과제 모집공고(10월모집)
주관기관명 (주)파크시스템스
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 454,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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