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| 과제번호 | S2830939 |
|---|---|
| 과제명 | RoHS 및 REACH 대응 무용제 고수축 PN 복합분할사를 사용한 반도체 제조공정용 Class 100 고밀도 와이퍼 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2019년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
| 주관기관명 | (주)인터마루인더스트리 |
| 관리기관명 | 서울지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 600,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 화학 >> 섬유제품 >> 산업용섬유제품 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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