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| 과제번호 | S2830532 |
|---|---|
| 과제명 | 10nm급 반도체용 100℃ 이하 저온 및 시간당 110매 이상 고생산성 공간분할 원자층 박막 증착 장비 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2019년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
| 주관기관명 | 넥서스비 |
| 관리기관명 | 전북지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 400,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
Copyright ⓒ 중소기업기술정보진흥원. All Rights Reserved.
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