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| 과제번호 | S2830101 |
|---|---|
| 과제명 | 미세 패터닝 노광공정에서의 정전기 제거를 위한 고출력 디지털 이오나이저 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2019년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
| 주관기관명 | (주)브이에스아이 |
| 관리기관명 | 충북지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 568,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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