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과제번호 S2829171
과제명 반도체 패키지의 저온 스퍼터링 공정을 위한 하부 돌출 전극 밀봉재 및 밀봉기술 국산화
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2019년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고
세부공고명 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업)
주관기관명 (주)씨앤아이테크놀로지
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 600,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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