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과제번호 S2804233
과제명 반도체 장비 개조를 통한 Dry Clean 신기능 추가로 불산 Zero화
사업명 창업성장-기술개발사업
공고명 2019년도 창업성장기술개발사업 ‘혁신형 창업과제(R&D+사내벤처)’ 제2차 시행계획 공고
세부공고명 2019년도 창업성장기술개발사업 ‘혁신형 창업과제(R&D+사내벤처)’ 제2차 시행계획 공고
주관기관명 알씨테크
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 400,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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