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창닫기과제번호 | S2790250 |
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과제명 | 반도체 Etching 공정용 Focus Ring의 내·외측의 균일한 연마가 가능한 Lapping 가공 기술 개발 |
사업명 | 맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) |
공고명 | 2019년도 맞춤형 기술파트너 지원사업 시행계획 2차 공고 |
세부공고명 | (하반기 본선)2019년도 맞춤형 기술파트너 지원사업 시행계획 2차 공고 |
주관기관명 | 금오공과대학교산학협력단 |
관리기관명 | 대구경북지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 30,000,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 정밀생산기계 >> 연삭/연마 가공기계 |