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과제번호 S2731280
과제명 반도체 설비용 0.001 Torr급 축전용량식 진공게이지 개발
사업명 산학연 Collabo R&D
공고명 2019년도 산학연 Collabo R&D 사업 시행계획 공고
세부공고명 2019년도 산학 Collabo R&D 사업 시행계획 공고
주관기관명 엠케이프리시젼(주)
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 37,500,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 계측기기 >> 계측센서 및 부품
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