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| 과제번호 | S2652613 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 및 디스플레이 공정 중 Level과 Vibration 측정이 동시에 가능한 웨이퍼 형태의 4mm 이하 실시간 무선 모니터링 계측 장비 개발 |
| 사업명 | 도약기술개발사업(포인트) |
| 공고명 | 2018년 산학연협력 기술개발사업(도약협력) 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2018년 산학연협력 기술개발사업(도약협력) 2차 |
| 주관기관명 | (주)세소 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 87,096,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 계측기기 >> 물리량 시험/분석 계측기 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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