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| 과제번호 | S2528840 |
|---|---|
| 과제명 | 10나노미터급 반도체 미세화 공정을 위해 내산성 및 평탄화 특성이 우수한 습식 스핀코팅용 하드마스크 조성물 개발 |
| 사업명 | 혁신형기술개발사업 |
| 공고명 | 2017년도 혁신기술개발사업 R&D 연계지원(2차) 과제 등록 공고 |
| 세부공고명 | 2017년도 혁신기술개발사업 R&D 연계지원(2차) 과제 등록 공고 |
| 주관기관명 | DCT 머티리얼 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 400,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 화학 >> 정밀화학 >> 감광재료 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
Copyright ⓒ 중소기업기술정보진흥원. All Rights Reserved.
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