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| 과제번호 | S2517853 |
|---|---|
| 과제명 | 1um 미만의 확산방지층 언더컷을 갖는 공정 기술 개발 및 TiW 식각액 개발 |
| 사업명 | 구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
| 공고명 | 2017년 구매조건부신제품개발사업 국내수요처 2차 기업제안과제 접수 공고 |
| 세부공고명 | 2017년 구매조건부신제품개발사업 국내수요처 2차 기업제안과제 접수 공고 |
| 주관기관명 | (주)씨에스피 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 161,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> 반도체 재료 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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