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| 과제번호 | S2484588 |
|---|---|
| 과제명 | 2축이상 반도체 공정내 고속 웨이퍼 트랜스 로봇의 이상 진동 진단 시스템 개발 |
| 사업명 | 중소기업R&D기획지원사업 |
| 공고명 | 2017년도 중소기업 R&D기획지원사업 1차 시행계획 재공고 |
| 세부공고명 | 일반과제(1차) |
| 주관기관명 | 피앤티 |
| 관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 25,500,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 계측기기 >> 안전감시/진단 계측제어기 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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