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과제번호 S2452400
과제명 고속원자층 증착장비용 저온-저손상 리모트 플라즈마 공간분할 가스 인젝터 마듈 개발
사업명 창업성장-기술개발사업
공고명 2016년 창업성장기술개발사업 '창조경제 연계과제(창조경제혁신센터)’ 2차 시행계획 공고
세부공고명 2016년 창업성장기술개발사업 '창조경제 연계과제(창조경제혁신센터)’ 2차 시행계획 공고
주관기관명 넥서스비
관리기관명 전북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 82,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 디스플레이 >> 디스플레이 제조장비
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