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창닫기과제번호 | S2452400 |
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과제명 | 고속원자층 증착장비용 저온-저손상 리모트 플라즈마 공간분할 가스 인젝터 마듈 개발 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
공고명 | 2016년 창업성장기술개발사업 '창조경제 연계과제(창조경제혁신센터)’ 2차 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2016년 창업성장기술개발사업 '창조경제 연계과제(창조경제혁신센터)’ 2차 시행계획 공고 |
주관기관명 | 넥서스비 |
관리기관명 | 전북지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 82,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 디스플레이 >> 디스플레이 제조장비 |