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과제번호 S2429661
과제명 고순도 SiC를 적용한 반도체 기판 ALD(Atomic Layer Deposition)장비용 일체형 Driving Spindle Shaft 개발
사업명 창업성장-기술개발사업
공고명 2016년도 창업성장기술개발사업 ‘창업과제’ 2차 시행계획 공고
세부공고명 2016년도 창업성장기술개발사업 ‘창업과제’ 2차 시행계획 공고
주관기관명 (주)케이디엠씨
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 200,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 화학 >> 세라믹재료 >> 세라믹제조공정기술
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