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| 과제번호 | S2366286 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 웨이퍼와 세포 조직 정밀 측정을 위한 광학배율 1,000배, 대물렌즈 N.A=0.95, 평면 분해능 125nm, 수직 분해능 1nm의 산업/바이오 현미경 기술 개발 |
| 사업명 | 2013년 World Class 300 프로젝트 R&D 지원 신청 요령 |
| 공고명 | 2013년 World Class 300 프로젝트 R&D 지원 신청 요령 |
| 세부공고명 | 2013년 World Class 300 프로젝트 R&D 지원 신청 요령 |
| 주관기관명 | (주)휴비츠 |
| 관리기관명 | 한국산업기술진흥원 |
| 전문기관명 | 한국산업기술진흥원 |
| 정부출연금 | 1,246,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 광응용기기 >> 기타 광응용 기기 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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