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과제번호 S2316467
과제명 투명 플렉서블 OLED의 버퍼층을 위한 6세대급 고생산성 배치형 ALD 장비 및 공정 개발
사업명 기술혁신개발사업
공고명 2015년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신기업기술개발(혁신형기업, 고성장기업) 시행계획 공고
세부공고명 2015년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신기업기술개발(혁신형기업)
주관기관명 엔씨디
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 436,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 디스플레이 >> 디스플레이 제조장비
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