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과제번호 S2291980
과제명 LED 광원을 이용한 1um 고해상도 노광기 개발
사업명 창업성장-1인창조
공고명 2015년도 창업성장기술개발사업 ‘1인 창조기업 과제’ 시행계획 공고
세부공고명 2015년도 창업성장기술개발사업 ‘1인 창조기업 과제’ 시행계획 공고
주관기관명 프로윈
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 49,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 노광 트랙장비
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