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과제번호 S2273022
과제명 텅스텐 필라멘트형 20nm급 소형 STEM 시스템 상용화
사업명 융복합기술개발사업
공고명 2015년 중소기업 융·복합기술개발사업 시행계획 공고<융합전략과제>
세부공고명 융복합기술개발사업<융합전략과제>
주관기관명 코셈
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 480,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> Si 소자
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