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창닫기과제번호 | S2270544 |
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과제명 | 배출가속기의 효율 향상을 위한 구조적 형상 및 비율 변화를 적용한 FUME 제거 장치의 유동 최적화 개발 |
사업명 | 제품공정개선기술개발사업 |
공고명 | 2015년도 제품ㆍ공정개선 기술개발사업 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2015년도 제품ㆍ공정개선 기술개발사업 시행계획 1차 공고(제품개선) |
주관기관명 | 피코앤테라(주) |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 50,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비 |