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과제번호 S2270544
과제명 배출가속기의 효율 향상을 위한 구조적 형상 및 비율 변화를 적용한 FUME 제거 장치의 유동 최적화 개발
사업명 제품공정개선기술개발사업
공고명 2015년도 제품ㆍ공정개선 기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2015년도 제품ㆍ공정개선 기술개발사업 시행계획 1차 공고(제품개선)
주관기관명 피코앤테라(주)
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 50,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비
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