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과제번호 S2258468
과제명 광소자 성능 향상을 위한 측벽 역각 형성용 공정 및 부품 개발
사업명 창업성장-기술개발사업
공고명 2015년도 창업성장기술개발사업 ‘창업과제’ 시행계획 공고
세부공고명 2015년도 창업성장기술개발사업 ‘창업과제’ 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 루미스타
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 149,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 에칭 장비
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