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과제번호 S2128399
과제명 실리콘 관통전극(TSV) 고속 깊이 측정 장비 개발
사업명 기술혁신개발사업
공고명 2013년도 중소기업 기술혁신개발사업 혁신기업기술개발 시행계획 하반기 공고
세부공고명 2013년도 중소기업 기술혁신개발사업 혁신기업기술개발 시행계획 하반기 공고
주관기관명 (주)쎄미시스코
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 360,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 계측기기 >> 광계측기
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