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| 과제번호 | S2067505 |
|---|---|
| 과제명 | Bonding세정용 밀착성 극대화 초정밀 Cleaning System의 개발 |
| 사업명 | 중소기업융복합기술개발사업 |
| 공고명 | 2012년 중소기업 융복합기술개발사업 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2012년 융복합기술개발사업 기업제안과제 시행공고 |
| 주관기관명 | (주)에프원테크 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 166,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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