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| 과제번호 | S2059305 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 FAB 공정 현장의 웨이퍼 불순물 검사를 위한 승온 맵핑 기술개발 |
| 사업명 | 중소기업융복합기술개발사업 |
| 공고명 | 2012년 출연연·중소기업 공동기술개발사업 지원계획 공고 |
| 세부공고명 | 출연연-융복합기술개발사업 지원계획 공고 |
| 주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 관리기관명 | 대구경북지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 458,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 산업/일반기계 >> 기타 산업/일반기계 관련기술 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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