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과제번호 S1078694
과제명 반도체 및 LCD 나노프로세스용 고온 Chemical 정밀공급시스템 제품화 개발사업
사업명 중소기업제품화개발사업
공고명 2010년도 중소기업 제품화개발사업 시행계획 공고
세부공고명 투자보증연계과제
주관기관명 주식회사디바이스이엔지
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 458,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 에칭 장비
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